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磁控濺射鍍膜設(shè)備是一種常用于薄膜制備的物理氣相沉積(PVD)方法,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、能源以及其他領(lǐng)域的薄膜材料的生產(chǎn)。其原理是通過磁場增強(qiáng)的濺射效應(yīng),使靶材表面的原子或分子脫離并沉積在基片表面,從而形成薄膜。磁控濺射技術(shù)具有很多優(yōu)點(diǎn),如薄膜質(zhì)量高、沉積速率可控、適用材料廣泛等,因此成為現(xiàn)代薄膜制備中關(guān)鍵的一項(xiàng)技術(shù)。磁控濺射鍍膜設(shè)備主要由靶材、電源、基片及磁場等部分組成。磁控濺射的工作原理是利用高能粒子轟擊靶材,靶材表面的原子或分子被激發(fā)并脫離,形成濺射粒子,經(jīng)過電場加速后...
8-19
紫外清洗機(jī)是一種通過紫外線技術(shù)對物品表面進(jìn)行清潔的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、醫(yī)療器械、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等領(lǐng)域。與傳統(tǒng)的清洗方法相比,它具有高效、環(huán)保、無化學(xué)污染等優(yōu)勢。其清洗效果與優(yōu)化分析的研究對提升設(shè)備性能、提高清洗效率和清潔度具有重要意義。一、清洗效果分析1、高效去除有機(jī)物與油污:紫外清洗機(jī)可以直接作用于有機(jī)物分子,使其發(fā)生光解反應(yīng),迅速分解掉附著在物體表面的油脂和有機(jī)物。這種方法比傳統(tǒng)的化學(xué)清洗法更為快速和有效,尤其在清除微小顆粒和細(xì)菌方面表現(xiàn)優(yōu)異。2、抗菌與消毒功能:不僅能...
8-14
勻膠顯影機(jī)是半導(dǎo)體制造中光刻工藝的核心設(shè)備,其工作原理圍繞光刻膠的均勻涂覆、固化及顯影展開,通過精密控制物理和化學(xué)過程,在晶圓表面形成亞微米級圖案模板。以下是其工作原理的詳細(xì)解析:一、核心功能模塊勻膠顯影機(jī)主要由三大系統(tǒng)構(gòu)成,各系統(tǒng)協(xié)同完成光刻工藝的關(guān)鍵步驟:勻膠系統(tǒng)功能:將光刻膠均勻涂覆在晶圓表面。流程:滴膠:通過高精度泵將定量光刻膠滴至晶圓中心。旋涂:真空吸盤固定晶圓后高速旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速可達(dá)0-6000rpm,精度±1rpm),利用離心力使光刻膠均勻鋪展,形成納...
8-5
實(shí)驗(yàn)室自動涂膜機(jī)作為現(xiàn)代材料科學(xué)、電子器件制造及涂層技術(shù)研究的重要設(shè)備,其性能的優(yōu)化與提升對于保證涂膜質(zhì)量、提高實(shí)驗(yàn)效率具有關(guān)鍵意義。以下將詳細(xì)探討實(shí)驗(yàn)室自動涂膜機(jī)的性能優(yōu)化方法及提升策略,涵蓋設(shè)備硬件調(diào)節(jié)、工藝參數(shù)優(yōu)化、軟件控制及維護(hù)管理等方面。一、設(shè)備硬件的優(yōu)化1、高精度傳動系統(tǒng):涂膜均勻度與涂布速度密切相關(guān)。采用高精度的伺服電機(jī)和步進(jìn)電機(jī),配合高質(zhì)量的絲桿或滾珠絲杠傳動機(jī)構(gòu),能有效減少機(jī)械間隙和振動,保證涂膜頭沿基材平穩(wěn)移動,從而提升涂膜的均勻性和重復(fù)性。2、涂膜頭結(jié)構(gòu)...
7-23
在實(shí)驗(yàn)室薄膜制備場景中,真空鍍膜與磁控濺射是兩大主流技術(shù)路線。選型需圍繞工藝需求、材料特性、設(shè)備性能及預(yù)算四大核心要素展開,以下為具體分析框架:一、技術(shù)原理對比:理解底層邏輯是選型基礎(chǔ)真空鍍膜(以蒸發(fā)鍍膜為例)原理:通過電阻加熱、電子束轟擊等方式使靶材氣化,氣態(tài)原子在真空腔室內(nèi)擴(kuò)散并沉積于基片表面。關(guān)鍵參數(shù):真空度(通常需低于10?3Pa)、蒸發(fā)速率、基片溫度。優(yōu)勢:設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單(蒸發(fā)源+基片架+真空系統(tǒng))、沉積速率快(可達(dá)微米級/分鐘)、適用于高純度金屬薄膜(如鋁、銀)。局...
7-17
實(shí)驗(yàn)室狹縫涂膜機(jī)是一種常用于薄膜材料涂布的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。它主要用于將液體或溶液均勻地涂布在基底材料上,制作薄膜樣品。這些薄膜在光電子、薄膜太陽能電池、傳感器等方面具有重要應(yīng)用。一、工作原理實(shí)驗(yàn)室狹縫涂膜機(jī)通過調(diào)節(jié)狹縫口的寬度和基底的移動速度來控制涂膜的均勻性和厚度。其主要結(jié)構(gòu)包括一個可調(diào)節(jié)的涂布頭、一個精密控制的基底運(yùn)動系統(tǒng)和一個用于調(diào)節(jié)涂布液流量的泵系統(tǒng)。涂布液通過涂布頭的狹縫流出,涂布頭與基底之間的相對運(yùn)動導(dǎo)致涂布液均勻地涂布在基底表...
7-7
在實(shí)驗(yàn)室鍍膜場景中,真空鍍膜與磁控濺射的技術(shù)路線對比需從核心原理、工藝特性、設(shè)備設(shè)計(jì)及典型應(yīng)用場景展開分析,具體結(jié)論如下:一、核心原理差異:物理沉積路徑分化真空蒸發(fā)鍍膜原理:通過電阻加熱、電子束轟擊等方式使靶材氣化,氣態(tài)原子在真空腔室內(nèi)擴(kuò)散并沉積于基片表面。關(guān)鍵參數(shù):真空度(通常需低于10?3Pa)、蒸發(fā)速率、基片溫度。優(yōu)勢:設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單、沉積速率快(可達(dá)微米級/分鐘)、適用于高純度金屬薄膜(如鋁、銀)。局限:膜層附著力較弱(需輔助離子束轟擊增強(qiáng))、難以沉積高熔點(diǎn)材料(如鎢、...
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